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                                上海伯東真空產品事業部搬遷通知

                                線性霍爾離子源 eH Linear
                                閱讀數: 7198

                                線性霍爾離子源 eH Linear

                                KRI 線性霍爾離子源 eH Linear
                                上海伯東代理美國原裝進口 KRI  線性離子源使用 eH 400 做為模組, 能應用于寬范圍的襯底, 離子源長度高達 1 米, 通過嚴格調整模組間的距離可以實現最佳的均勻性和離子流. 由于模組是平行放置, 大大簡化了氣體, 功率和電子三者的分布. KRI 線性離子源使用標準的端部霍爾模組并使設備的需求簡化, 一個低成本, 高電流和低能量的離子束可以很好的使用于 web 涂層, in-line 沉積和圓柱旋轉濺射系統.

                                霍爾離子源 eH 400 尺寸
                                尺寸: 直徑= 3.7“ 高= 3”
                                放電電壓 / 電流: 50-300eV / 5A
                                操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機前體

                                KRI 霍爾離子源 eH Linear 技術參數

                                型號

                                eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5

                                供電

                                DC magnetic confinement

                                  - 電壓

                                40-200V VDC

                                  - 陽極結構

                                模塊化

                                電源控制

                                eHL-30010A

                                配置

                                -

                                  - 陰極中和器

                                Filamentless

                                  - 離子束發散角度

                                > 45° (hwhm)

                                  - 陽極

                                標準或 Grooved

                                  - 底座

                                移動或快接法蘭

                                  - 高度

                                10 cm

                                寬度

                                10 cm

                                  - 長度

                                ~ 100cm

                                  -工藝氣體

                                Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others

                                 

                                Model

                                eHL 200-3

                                eHL 200-5

                                Height (nominal)

                                2.9” (7.4cm)

                                2.9” (7.4cm)

                                Width (nominal)

                                3.3” (8.4cm)

                                3.3” (8.4cm)

                                Length (nominal)

                                Determined by number of modules & application

                                Determined by number of modules & application

                                Cathode/Neutralizer

                                Yes

                                Yes

                                Anode module

                                Yes

                                Yes

                                Filamentless

                                Yes

                                Yes

                                Orientation

                                Vertical / Horizontal

                                Vertical / Horizontal

                                Process gases

                                Inert, reactive, & organic

                                Inert, reactive, & organic

                                Power controller

                                eH Plasma Power Pack

                                eH Plasma Power Pack

                                 

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