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                                上海伯東真空產品事業部搬遷通知

                                HVA 矩形板閥 88200 系列
                                閱讀數: 5582

                                HVA 矩形板閥 88200 系列

                                28200&88200系列矩形真空板閥

                                28200&88200系列矩形板閥是采用了直連驅動技術的接口閥,可靠使用壽命超過1百萬次。HVA閘板閥專用于真空相關系統,起隔絕真空壓力的作用。HVA真空閘板閥外形尺寸小,設計緊湊,可靠應用于生產線與過渡腔室(load-lock chamber),過渡腔室(load-lock chamber)與傳輸系統(handling system),傳輸系統(handling system)與工藝腔室(process chamber)等等,需要分隔真空壓力的地方。

                                 

                                28200&88200系列矩形真空板閥產品特點

                                1. 超百萬次可靠運行壽命

                                2. 不產生粉末,顆粒,防塵設計

                                3. 閥動作平穩,振動和沖擊小

                                4. 標準接口,或按客戶要求定制

                                5. 閥體材料經過1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理

                                6. 適用于1E-9Torr,200℃條件下

                                 

                                28200&88200系列矩形真空板閥技術參數

                                連接形式:

                                標準或定制法蘭

                                主體材料:

                                304 不銹鋼/ AM-350

                                公稱通徑:

                                DN32*222 mm-DN50*336

                                DN32*222 mm-DN100*1250

                                漏率:

                                2x10E-9 AtmCC/Sec

                                壓力范圍: 

                                1x10E-9 Torr

                                烘烤溫度:

                                《150℃

                                適用介質:

                                水、蒸汽、空氣

                                密封形式:

                                軟密封型

                                驅動方式:

                                氣動

                                使用壽命:

                                1000000 啟閉次數

                                 

                                28200&88200系列矩形真空板閥訂貨號及2D & 3D 圖

                                DN

                                Model

                                 

                                 

                                mm

                                inch

                                Number

                                J (Bolted Body)

                                K (Clamped Body)

                                32 x 220

                                1.26 x 8.74

                                28212-0109RX_

                                2D

                                3D

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                                32 x 332

                                1.26 x 13.07

                                28212-0113RX_

                                2D

                                3D

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                                Quote

                                46 x 236

                                1.81 x 9.29

                                28212-0209RX_

                                2D

                                3D

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                                50 x 336

                                1.97 x 13.23

                                28212-0213RX_

                                2D

                                3D

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                                28200&88200系列矩形真空板閥部件圖

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