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                                上海伯东真空产品事业部搬迁通知

                                KRI 考夫曼霍尔离子源光学蒸镀镀膜机应用
                                阅读数: 7467

                                KRI 考夫曼霍尔离子源光学蒸镀镀膜机应用

                                伯东公司 KRI 考夫曼霍尔离子源光学蒸镀镀膜机应用

                                常见蒸镀机台与对应 KRI 霍尔离子源型号:

                                蒸镀机台尺寸

                                KRI 离子源

                                ~1100mm

                                eH1010

                                1100~1400mm

                                eH1010, eH1020

                                1400~1900mm

                                eH1020, eH3000


                                离子源


                                KRI 考夫曼霍尔离子源 controller 自动化控制及联机自动化设计,提供使用者在操作上更是便利。

                                离子源


                                KRI 考夫曼霍尔离子源 Gun body ??榛杓?、提供使用者在于基本保养中能够降低成本及便利性。

                                离子源


                                伯东公司客户 1400 mm 蒸镀镀膜机安装 KRI考夫曼霍尔离子源 EH1020 F,应用于塑料光学镀膜。

                                离子源
                                离子源

                                离子源


                                KRI 考夫曼霍尔离子源 EH1020 主要参数:

                                Filament Controller

                                Discharge controller

                                Gas controller

                                17.2A/ 22V

                                150V/ 4.85A

                                Ar/ 32sccm

                                离子源


                                利用 KRI 考夫曼霍尔离子源辅助镀膜及无离子源辅助镀膜对镀膜质量之比较:

                                 

                                KRI EH1020 辅助镀膜

                                无 Ion Source 辅助镀膜

                                盐水煮沸脱膜测试

                                破坏性百格脱膜测试

                                光学折射设率

                                膜层致密性

                                膜层光学吸收率

                                制程腔体加热温度

                                生产成本

                                 

                                 

                                 

                                 

                                 

                                 

                                 

                                 

                                 

                                 






                                KRI 考夫曼霍尔离子源系列主要型号包含:

                                 

                                离子源 eH200

                                 离子源 eH400

                                离子源 eH1010

                                离子源 eH1020

                                离子源 eH3000

                                Cathode

                                Filament or Hollow cathode

                                Filament or Hollow cathode

                                Filament or Hollow cathode

                                Filament or Hollow cathode

                                Hollow cathode

                                Water Cooled Anode

                                no

                                no

                                no

                                yes

                                no

                                Discharge Currentmax

                                2 A

                                3.5 (7) A

                                10 (7) A

                                10 (20) A

                                20 (10) A

                                Discharge  Voltagemax

                                300 V

                                300 (150) V

                                300 (150 ) V

                                300 (150) V

                                250 (300) V

                                Discharge  Voltagemin

                                40* V

                                40* V

                                40* V

                                40* V

                                40* V

                                Divergence (hmhw)

                                45°

                                45°

                                45°

                                45°

                                45°

                                Height (nominal)

                                2.0”

                                3.0”

                                4.0”

                                4.0”

                                6.0”

                                Diameter (nominal)

                                2.5”

                                3.7”

                                5.7”

                                5.7”

                                9.7”

                                 

                                伯东公司主要经营产品德国 Pfeiffer涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的真空测量(真空计, 真空规管);氦质谱检漏仪;质谱分析仪;真空系统以及 Cryopump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机美国KRI Kaufman 考夫曼离子源(离子枪)

                                 

                                若您需要进一步的了解详细信息,请与我们联系:

                                TEL: 86 (021) 50463511转106

                                FAX: 86 (021) 50461490

                                Email: ec@hakuto-vacuum.cn

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