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                                上海伯東真空產品事業部搬遷通知

                                干式真空泵 A 100 L,A 200 L
                                閱讀數: 6387

                                干式真空泵 A 100 L,A 200 L

                                干式真空泵 A 100 L-A 200 L
                                上海伯東銷售維修 Pfeiffer 干式真空泵(多級羅茨泵)A 100 L-A 200 L,用于潔凈制程的整體式干泵,緊湊設計,大抽速,低能耗,滿足半導體行業機臺內直接安裝和快速抽空的設計要求,是load-lock、傳送腔及其他非腐蝕性工藝的完美解決方案。Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L排除了泵安裝中的真空管路影響,通過使用 Pfeiffer 整體式干泵,可降低真空管路安裝、集成和調試的成本。Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L高可靠性和長期穩定性使其脫穎而出,現已廣泛應用于全世界范圍內的 300 mm 半導體工廠。

                                干式真空泵 A 100 L-A 200 L平均故障間隔時間超過 195000 小時,提供干燥無塵的潔凈真空,適合在無塵室中使用,整體式干泵也為太陽能光電設備提供最佳解決方案。低噪音和低振動是該水冷型干泵的其他優勢,小巧的體積保證了其在大型機臺內集成的便利性,是各大設備廠商首選。

                                干式真空泵 A 200 L是針對高氣流量應用的全新解決方案,抽速200 m3/h,再次展示出了其在整體式干泵市場中全球領導地位。

                                上海伯東 Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 主要優點
                                高氣流量,大抽速
                                結構緊湊,占地面積小
                                易于集成,運行成本低
                                低噪音和低震動,無油無塵
                                即插即用系統:集成型監察裝置
                                干式真空泵 RS232 / RS485 接口可選

                                Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 應用行業
                                Load-lock 和傳送腔
                                半導體生產
                                光伏
                                工業(低溫,氣體制造,激光源)
                                分析儀(用于電子顯微術或表面分析的閘室)

                                Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 技術參數

                                型號

                                進氣口尺寸 DN

                                極限壓力 hPa

                                抽速

                                噪音比

                                重量

                                m3/h

                                dB (A)

                                kg

                                A 100 L

                                50

                                6.6 X 10-3

                                100

                                58

                                100

                                A 100L ES

                                50

                                7 X 10-4

                                100

                                55

                                100

                                A 200 L

                                50

                                8 X 10-3

                                200

                                58

                                100

                                L:標準版本    ES:節能版本

                                干式真空泵 A 100 L 標準版本
                                冷卻水循環,在前端配置運行時間記錄儀和三色 LED 指示燈時時顯示泵當前狀態。
                                主要在售型號:
                                A 100 L 標準版本,低電壓,16 針 I/O
                                A 100 L 標準版本,低電壓,19 針 I/O
                                A 100 L 標準版本,低電壓,RS232/485 接口,16 針 I/O
                                A 100 L 標準版本,低電壓,RS232/485 接口,19 針 I/O
                                A 100 L 標準版本,高電壓,16 針 I/O
                                A 100 L 標準版本,高電壓,19 針 I/O
                                A 100 L 標準版本,高電壓,RS232/485 接口,16 針 I/O
                                A 100 L 標準版本,高電壓,RS232/485 接口,19 針 I/O

                                A 100 L ES 節能版本
                                緊湊型干泵集成節能模塊,有效減少了 50% 的耗電量。冷卻水循環,在前端配置運行時間記錄儀和三色 LED 指示燈時時顯示泵當前狀態。  

                                主要在售型號:
                                A 100 L ES 節能版本,低電壓,16 針 I/O
                                A 100 L ES 節能版本,低電壓,19 針 I/O
                                A 100 L ES 節能版本,低電壓,RS232/485 接口,16 針 I/O
                                A 100 L ES 節能版本,低電壓,RS232/485 接口,19 針 I/O
                                Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 抽速圖
                                干式真空泵

                                Pfeiffer 干式真空泵 ACP:上海伯東真空產品事業部是德國 Pfeiffer 指定銷售維修中心,我司是國內最早代理 Pfeiffer 產品的公司,100% 原裝進口并提供 Pfeiffer 全系列真空產品的售后維修服務。

                                 

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