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                                上海伯東真空產品事業部搬遷通知

                                干式真空泵 A4X 系列
                                閱讀數: 6312

                                干式真空泵 A4X 系列

                                干式真空泵 A4X 系列
                                上海伯東德國 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列適合半導體、光伏等腐蝕性強的行業,干式真空泵抽速從 160 到 1,700 m3/h 滿足不同需求,特殊的耐腐蝕工藝設計保證干式真空泵 A4X 系列使用壽命大幅提高,有效降低了企業成本。

                                干式真空泵 A4X 系列核心優勢:
                                耐腐蝕設計,使用壽命長
                                通過 Semi S2-0712 和 UL 61010 標準
                                特殊設計,避免真空泵發生爆裂或可冷凝物沉積
                                配置氮氣吹掃閥,耐粉塵

                                干式真空泵 A4X 系列應用
                                半導體:(蝕刻、PECVD、SACVD、ALD 等)
                                涂料行業:光伏和 LED

                                干式真空泵 A4X 系列技術參數:

                                型號

                                A 124 H

                                A 604 H

                                A 1204 H

                                A 204 H
                                A 204 X

                                A 804 H
                                A 804 X

                                A 1504 H
                                A 1504 X

                                A 1804 H
                                A 1804 X

                                抽速 m3/h

                                110

                                560

                                1150

                                160

                                700

                                1200

                                1700

                                極限真空
                                (氮氣吹掃閥關閉) hPa

                                2X10-2

                                2X10-4

                                9X10-4

                                5X10-2

                                2X10-3

                                2X10-3

                                2X10-3

                                極限真空
                                (氮氣吹掃閥50 SLM) hPa

                                5X10-2

                                6X10-3

                                6X10-3

                                2X10-1

                                9X10-3

                                9X10-3

                                9X10-3

                                全轉速最大進氣氣流 SLM

                                80

                                60

                                55

                                150

                                100

                                100

                                70

                                最大功率 KW

                                1.5

                                1.9

                                2.3

                                1.8

                                2.2

                                2.6

                                2.6

                                最大排氣壓力hPa

                                1200

                                1200

                                1200

                                1200

                                1200

                                1200

                                1200

                                進氣口 ISO-KF

                                DN 50

                                DN 100

                                DN 160

                                DN 50

                                DN 100

                                DN 160

                                DN 160

                                重量 kg

                                250

                                370

                                530

                                260

                                380

                                540

                                540

                                 

                                干式真空泵 A4X 系列抽速:
                                上海伯東干式真空泵 Adixen

                                上海伯東 Adixen 干式真空泵


                                 

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