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                                上海伯东真空产品事业部搬迁通知

                                Pfeiffer 镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220
                                阅读数: 4449

                                Pfeiffer 镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220

                                镀膜工艺气体分析仪 SPM 220
                                上海伯东德国普发 Pfeiffer 真空镀膜工艺监测器 SPM 220 为镀膜工艺的定性和定量气体分析提供了完美的解决方案. 搭配 HiPace 涡轮分子泵组和专门开发的镀膜工艺监测器离子源, 在高达 10-2 hPa 的压力下, 实现了精确到分钟的工艺气体分析. Pfeiffer 同时提供一个带有压差孔板法兰的型号供选择, 可以实现在高达 10 hPa 的压力范围里进行直接的工艺气体分析.

                                镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 优势
                                用于瞬时过程监测的镀膜工艺监测器离子源
                                用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的优秀检测限
                                对测量结果的最小化背景影响
                                提供压力高达 10 hPa 的压差型号
                                多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
                                灵活集成的紧凑尺寸
                                通过各种数字和模拟输入和输出, 使系统集成方便而灵活

                                镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 应用
                                半导体生产,玻璃镀膜, 薄膜太阳能电池发电,研发

                                镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 组成:涡轮分子泵+四级杆质谱+离子源
                                Pfeiffer 普发镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220

                                镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 优势:
                                镀膜工艺监测器离子源,适用于瞬时过程监测
                                对气体H2、O2、H2O 和 CO2 优秀检测极限
                                对测量结果的最小化背景影响
                                压力高达 10 hPa 的压差版本
                                多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
                                紧凑设计,易于系统集成
                                通过各种数字和模拟输入和输出
                                Pfeiffer监测质谱 SPM 220 技术参数:

                                SPM 系统控制

                                BRU 220

                                电压

                                115-230 V

                                前级泵

                                MVP 020-3

                                四极控制

                                QME 220

                                带 SPM 离子源的分析仪

                                QMA 220

                                探测器

                                C-SEM/Faraday

                                杆系统:材料

                                不锈钢

                                杆系统:直径

                                6 mm 

                                杆系统:长度

                                100 mm 

                                检测极限(氩中):二氧化碳

                                < 100 ppb

                                检测极限(氩中):氧气

                                < 100 ppb

                                检测极限(氩中):氮

                                < 100 ppb

                                检测极限(氩中):水

                                < 3000 ppb

                                检测极限(氩中):水蒸气

                                < 500 ppb or < 6000 ppb

                                涡轮分子泵

                                带有 TC 110 RS 的 HiPace 80

                                质量数

                                 

                                1-100 amu or 1-200 amu

                                过程压力至

                                1 hPa or 10 hPa or 8hPa

                                连接法兰(入口)

                                DN 40 CF-F

                                重量

                                13 kg 

                                 

                                若您需要进一步的了解详细信息或讨论,请参考以下联络方式:
                                上海伯东:叶女士                         台湾伯东:王女士
                                T: +86-21-5046-3511 ext 109         T: +886-03-567-9508 ext 161
                                F: +86-21-5046-1490                    F: +886-03-567-0049
                                M: +86 1391-883-7267                 M: +886-939-653-958
                                ec@hakuto-vacuum.cn                  ec@hakuto.com.tw
                                qq: 2821409400

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