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                                上海伯東真空產品事業部搬遷通知

                                Thermonics 低溫冰水機
                                閱讀數: 4119

                                Thermonics 低溫冰水機

                                Thermonics 低溫冰水機
                                上海伯東美國 inTEST 旗下 Thermonics® 低溫冰水機, 提供低溫極限 -80°C, -60°C, -40°C 共計 18種標準機型, 低溫冰水機單級壓縮機, 級聯冷卻, 冷凝器水冷或風冷; 可編程的觸摸屏, 支持遠程通訊. 低溫冰水機方便移動操作, 滿足高容量的制冷需求, 適用于汽車, 能源, 工業化學, 半導體等行業.

                                Thermonics 低溫冰水機: 精密溫度控制, 適用于半導體前端和后端的應用, 例如半導體刻蝕設備降溫
                                . 最高冷卻功率 15 kW
                                . 溫度范圍:  -80 至 200 °C
                                . 適合各種熱交換流體
                                . 風冷和水冷模式
                                . 導熱流體壓力和流量控制
                                . ISO 9001 和 ITAR 認證
                                . 可編程的觸摸屏
                                低溫工藝流體冰水機
                                Thermonics 低溫冰水機, 風冷型

                                型號

                                溫度范圍
                                °C

                                精度
                                °C

                                冷卻能力 kW @ 20°C 供水

                                泵抽速
                                l/min

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                                -20

                                -40

                                -45

                                -60

                                -70

                                -80

                                A-40-1100

                                -40 至 +50

                                ±0.5

                                6.6

                                6.6

                                4.0

                                1.1

                                0.5

                                -

                                -

                                -

                                15

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                                A-40-1900

                                -40 至 +50

                                ±0.5

                                9.5

                                9.5

                                5.4

                                1.9

                                0.7

                                -

                                -

                                -

                                23

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                                A-40-2700

                                -40 至 +50

                                ±0.5

                                14.5

                                14.5

                                9.6

                                2.7

                                1.2

                                -

                                -

                                -

                                38

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                                A-60-2700

                                -60 至 +50

                                ±0.5

                                3.9

                                3.9

                                3.6

                                3.1

                                3.0

                                2.7

                                -

                                -

                                11

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                                A-60-3000

                                -60 至 +50

                                ±0.5

                                4.6

                                4.6

                                3.7

                                3.5

                                3.4

                                3.0

                                -

                                -

                                23

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                                A-60-4600

                                -60 至 +50

                                ±0.5

                                6.7

                                6.7

                                6.1

                                5.3

                                5.1

                                4.6

                                -

                                -

                                30

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                                A-80-500

                                -80 至 +50

                                ±0.5

                                2.3

                                2.3

                                2.2

                                2.1

                                2.0

                                1.8

                                1.5

                                0.5

                                11

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                                A-80-1700

                                -80 至 +50

                                ±0.5

                                3.4

                                3.5

                                3.1

                                2.8

                                2.7

                                2.3

                                2.1

                                1.7

                                23

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                                A-80-2400

                                -80 至 +50

                                ±0.5

                                5.0

                                5.1

                                4.5

                                3.9

                                3.8

                                3.3

                                3.1

                                2.4

                                30

                                下載PDF


                                Thermonics 低溫冰水機, 水冷型

                                型號

                                溫度范圍
                                °C

                                精度
                                °C

                                冷卻能力 kW @ 20°C 供水

                                泵抽速
                                l/min

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                                25

                                0

                                -20

                                -40

                                -45

                                -60

                                -70

                                -80

                                W-40-1100

                                -40 至 +50

                                ±0.5

                                8.0

                                8.0

                                4.6

                                1.1

                                0.6

                                -

                                -

                                -

                                15

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                                W-40-2000

                                -40 至 +50

                                ±0.5

                                10.0

                                10.0

                                6.0

                                2.0

                                1.0

                                -

                                -

                                -

                                23

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                                W-40-3100

                                -40 至 +50

                                ±0.5

                                15.5

                                15.5

                                10.0

                                3.1

                                1.4

                                -

                                -

                                -

                                38

                                下載 PDF

                                W-60-2800

                                -60 至 +50

                                ±0.5

                                4.0

                                4.0

                                3.7

                                3.2

                                3.1

                                2.8

                                -

                                -

                                11

                                下載 PDF

                                W-60-3100

                                -60 至 +50

                                ±0.5

                                4.7

                                4.7

                                4.3

                                3.7

                                3.6

                                3.1

                                1.1

                                -

                                23

                                下載 PDF

                                W-60-4700

                                -60 至 +50

                                ±0.5

                                6.8

                                6.8

                                6.2

                                5.4

                                5.2

                                4.7

                                4.0

                                -

                                30

                                下載 PDF

                                W-80-600

                                -80 至 +50

                                ±0.5

                                2.5

                                2.5

                                2.3

                                2.1

                                2.0

                                1.8

                                1.6

                                0.6

                                11

                                下載 PDF

                                W-80-1800

                                -80 至 +50

                                ±0.5

                                3.5

                                3.5

                                3.2

                                2.9

                                2.8

                                2.4

                                2.2

                                1.8

                                23

                                下載 PDF

                                W-80-2500

                                -80 至 +50

                                ±0.5

                                5.1

                                5.1

                                4.5

                                4.0

                                3.9

                                3.4

                                3.2

                                2.5

                                30

                                下載 PDF

                                * 所有水冷和風冷型號液體壓力是 50 PSIG 或更少
                                * -40 和-60°C 的低溫性能使用 Syltherm XLT 熱傳導液. -80°C 的性能使用 hfe - 7100 熱傳導液
                                * 如果需要使用其他類型熱傳導液或流速, 請聯絡上海伯東

                                Thermonics 低溫冰水機典型應用
                                1. 半導體行業: 在離子注入機中冷卻硅片夾
                                2. 燃料電池能源: 低溫冷卻進入儲罐的廢氣, 從廢氣中冷凝和分離二氧化碳
                                3. 科研領域: 在一個壓力容器中, 加熱和冷卻銅塊

                                Thermonics® 制冷機主要應用于能源, 化學工藝, 工業和半導體制造, 例如如下:

                                制冷機類型

                                冷卻方式

                                Max.Capacity

                                溫度范圍

                                導熱介質

                                應用市場

                                傳導液制冷
                                雙極

                                水冷

                                5kW @ -20°C

                                -40 至 25°C    

                                Syltherm XLT

                                化學

                                傳導液制冷
                                單極

                                水冷

                                2.5kW @ -60°C

                                -60 至 25°C

                                Syltherm XLT

                                化學

                                傳導液制冷
                                單極

                                風冷

                                270W @ -50°C

                                -50 至 120°C

                                HFE-7500   

                                半導體

                                傳導液制冷
                                雙極

                                風冷

                                300W @ -80°C

                                -80 至 200°C

                                Syltherm XLT

                                國防

                                傳導液制冷
                                雙極

                                風冷

                                3KW @ -60°C

                                -60 至 20°C

                                KRYO 60 

                                能源

                                氣體制冷
                                自然復疊

                                風冷

                                -100 °C @ 8 scfm

                                -100 °C至空氣

                                清潔,干燥空氣

                                工業

                                傳導液制冷
                                雙極

                                水冷

                                2.2KW @ 20°C

                                -50 至 40 °C

                                HFE-7500

                                半導體

                                傳導液制冷
                                單極

                                水冷

                                12KW @ 15°C

                                -15 至 20 °C

                                PGW (25%)

                                半導體

                                氣體制冷
                                自然復疊

                                風冷

                                -90°C @ 18scfm

                                -90 至 225 °C

                                清潔,干燥空氣

                                汽車

                                傳導液制冷
                                單極

                                風冷

                                1.5 KW @ -30 °C

                                -40 至 50 °C

                                Syltherm XLT

                                工業

                                傳導液制冷
                                雙極

                                水冷

                                3.3KW @ -50°C

                                -50 至 20 °C

                                Syltherm HF

                                汽車


                                Thermonics 低溫冰水機原理:
                                冰水機 chiller
                                 

                                Thermonics 超低溫冰水機在半導體行業中的應用
                                前端 Front End
                                離子注入 Ion Implant
                                蝕刻設備 Etch: 降溫晶圓,
                                沉積設備 Deposition
                                后端 Back End
                                各種測試處理 Final Test Handlers:
                                舉例: Thermonics 冰水機將制冷液體泵入測試設備進行半導體器件的冷態測試, Thermonics 冰水機可與各類半導體測試設備聯用.

                                美國 inTEST 旗下 Thermonics® 提供 -80°C 低溫冰水機和 -120°C 超低溫冰水機用于冷卻工藝過程中的氣體和液體. 型號包含低溫液體冰水機, 超低溫氣體冰水機超低溫液氮, 液態二氧化碳制冷機. Thermonics 低溫冰水機可選水冷或氣冷, 并與各種導熱液體兼容. 滿足各種超低溫工藝冷卻需求, 廣泛應用于化學, 能源, 半導體, 汽車等領域. 上海伯東是美國 Thermonics 超低溫冰水機中國總代理. 

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