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                                上海伯東真空產品事業部搬遷通知

                                氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏
                                閱讀數: 212

                                氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏

                                Pfeiffer 氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏
                                脈沖激光沉積系統 PLD
                                脈沖激光沉積系統 Pulsed laser deposition 是制備高通量多晶薄膜, 外延薄膜和多層異質結構和超晶格結構的物理氣相沉積設備, 通常需要保證本底真空度達到 10-8mbar, 同時高真空環境對系統配置的 RHEED 及溫控系統等關鍵設備的壽命也至關重要.

                                脈沖激光沉積系統 PLD 需要檢漏原因
                                PLD 系統需要高真空環境, 腔室是否有泄露, 是否有內部材料放氣等因素對實現高真空及超高真空很關鍵. 因此需要對整個系統進行泄漏檢測. 氦質譜檢漏儀利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 因此廣泛應用于 PLD 設備檢漏.

                                脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏客戶案例: 上海伯東某客戶 PLD 設備用來制備各種材料, 為了保證產品質量, 采購氦質譜檢漏儀 ASM 340 搭配使用.

                                生長多層膜(TiN/ALN)結構, 各層膜厚度可調

                                高通量制備具有不同材料成分的100種材料

                                PLD 制備的 Ag 的納米多孔材料

                                氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏

                                氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏

                                氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏


                                脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏方法
                                采用真空模式檢漏, 通過波紋管連接需要檢漏的腔體, 設定好需要的漏率值
                                在懷疑有漏的地方噴氦氣(一般需要檢漏的部位是焊縫或連接處),如果有漏,檢漏儀會出現聲光報警同時在屏幕上顯示當前漏率值.
                                氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏
                                上海伯東推薦 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀 ASM 340 三種類型可選

                                型號

                                ASM 340 WET

                                ASM 340 D

                                ASM 340 I

                                對氦氣的最小檢測漏率, 真空模式

                                5E-13 Pa m3/s

                                5E-13 Pa m3/s

                                5E-13 Pa m3/s

                                檢測模式

                                真空模式和吸槍模式

                                真空模式和吸槍模式

                                真空模式和吸槍模式

                                檢測氣體

                                4He, 3He, H2

                                4He, 3He, H2

                                4He, 3He, H2

                                對氦氣的抽氣速度 l/s

                                2.5

                                2.5

                                2.5

                                進氣口最大壓力 hPa

                                25

                                25

                                5

                                前級泵抽速 m3/h

                                油泵 15

                                隔膜泵 3.4

                                不含前級泵

                                重量 kg

                                56

                                45

                                32

                                結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術優勢, 德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應用. 氦質譜檢漏儀替代傳統泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC. 推薦氦質譜檢漏儀應用 >>

                                鑒于客戶信息保密, 若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式
                                上海伯東: 葉女士                                  臺灣伯東: 王女士
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